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高效過濾器的檢漏通常采用DOP法，采用PAO氣溶膠發(fā)生器，在過濾器上游發(fā)塵，使用光度計(jì)檢測過濾器上下游氣溶膠的濃度來判定過濾器是否有泄露。使用氣溶膠發(fā)生器發(fā)塵（發(fā)煙）是因?yàn)楦咝н^濾器的上游塵埃粒子濃度較低，僅使用粒子計(jì)數(shù)器在不發(fā)塵的情況下很難發(fā)現(xiàn)有泄露，需要補(bǔ)充發(fā)塵才能比較容易發(fā)現(xiàn)泄露。

人工氣溶膠DOP存在已經(jīng)近40多年歷史，由于一段時(shí)間以來，因被懷疑對人有致癌作用，現(xiàn)常以PAO(polyaphaolefin聚a烯烴）等代替，但實(shí)驗(yàn)方法仍稱“DOP法”。FDA指出在進(jìn)行檢漏時(shí)環(huán)氧乙烷報(bào)警器，選用的氣溶膠應(yīng)符合一定的理化要求，不應(yīng)使用會(huì)引起微生物污染、造成微生物滋生的氣溶膠。PAO是一種無毒、無味的溶液，具有非致癌性，因此用PAO代替DOP用于高效過濾器的測試。

PAO氣溶膠發(fā)生器即產(chǎn)生煙霧的裝置可分為熱發(fā)型和冷發(fā)型兩種，DOP溶劑（或PAO溶劑）倒入發(fā)生器容器后塵埃粒子計(jì)數(shù)器，熱發(fā)生器是利用蒸發(fā)冷凝的原理，被霧化的氣溶膠粒子用加熱器蒸發(fā)，并在特定條件下冷凝成微小液滴塵埃粒子計(jì)數(shù)器，去掉過大和過小的液滴后留下0.3um左右的狀DOP進(jìn)入風(fēng)道，粒徑分布在0.1～0.3um。冷發(fā)生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經(jīng)laskin噴管飛濺產(chǎn)生物態(tài)的多分散相DOP氣溶膠，最大分布粒徑在0.65um左右。在對過濾器進(jìn)行掃描檢漏時(shí)，經(jīng)常使用冷發(fā)型DOP法. 常用的檢測儀器有兩種，一種是氣溶膠光度計(jì)，另一種是塵埃粒子計(jì)數(shù)器。高效過濾器檢漏中常用的檢測儀器是氣溶膠光度計(jì)（以下簡稱光度計(jì)），是一種前散射線性光度計(jì)，它由真空泵、光散射室、光電倍增管、信號(hào)處理轉(zhuǎn)換器和微處理器等組成。其工作原理是：當(dāng)氣流被真空泵抽至光散射室時(shí)，其中的顆粒物質(zhì)散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，此信號(hào)經(jīng)放大和數(shù)字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強(qiáng)度。通過與參比物質(zhì)產(chǎn)生的信號(hào)的對比塵埃粒子計(jì)數(shù)器，可以直接測量氣體中顆粒物質(zhì)的質(zhì)量濃度，因此其用途十分廣泛。而粒子計(jì)數(shù)器，它的測試值反映的是氣流中粒子個(gè)數(shù)的濃度，并規(guī)定粒徑范圍，其靈敏度較高，對所有塵源氣溶膠適用，選擇余地較大，但在高效過濾器檢漏中較少使用，兩種儀器測試結(jié)果難以定量對比。

氣溶膠發(fā)生器及氣溶膠光度計(jì)是用來檢測高效過濾器泄漏效率的。將氣溶膠發(fā)生器與氣溶膠光度計(jì)組合使用，過濾器的缺陷，如針孔，漏點(diǎn)，墊片泄漏，內(nèi)泄漏，或邊框泄漏均可以快速的被檢測出來，進(jìn)行及時(shí)糾正和采取相關(guān)措施甲苯檢測儀，從而保證高效過濾器的效率和超凈間的潔凈度等級(jí)。

DOP檢漏的材料、儀器有：發(fā)煙物質(zhì)（PAO溶劑）、氣溶膠發(fā)生器、氣溶膠光度計(jì)。

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