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電子級(jí)六氟化硫

分子式：SF6

分子量：146.05

項(xiàng) 目

國(guó) 標(biāo)

GB/T18867-2014

六氟化硫(SF6)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 ≥

99.999

（氧+氬）（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ≤

2.0

氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ≤

2.0

四氟化碳(CF4)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ≤

1.0

一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ≤

0.5

二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ≤

0.5

甲烷(CH4) 含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ≤

0.5

水分(H2O)的（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ≤

3.0

酸度（以HF計(jì)）的質(zhì)量分?jǐn)?shù)/10-6 ≤

0.1

可水解氟化物（以HF計(jì)）的質(zhì)量分?jǐn)?shù)/10-6 ≤

0.8

雜質(zhì)綜合的體積分?jǐn)?shù)/10-6 ≤

10

顆粒

由供需雙方商定

性狀：

常溫常壓下為液態(tài)氫氣檢測(cè)儀，它是一種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、無(wú)腐蝕性的氣體。熔點(diǎn)-50℃，升華點(diǎn)或沸點(diǎn)為-63.8℃六氟化硫，氣體密度6.16g/L(20℃，0.1MPa)，在熔點(diǎn)時(shí)密度為2.51g/cm3六氟化硫，具有高的絕緣性和滅弧能力。

用途：

六氟化硫﹙SF6﹚是一優(yōu)良的惰性絕緣氣體六氟化硫，電子工業(yè)用六氟化硫氣體大量用于在電子器件表面清洗、在TFT行業(yè)中應(yīng)用量大。

貯存：

應(yīng)存放于陰涼干燥、通風(fēng)良好的地方。

運(yùn)輸：

長(zhǎng)途運(yùn)輸時(shí)應(yīng)附有GB19-73《危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志》中指定標(biāo)志。氣瓶充裝系數(shù)不大于1.33kg/L。

包裝：

SF6應(yīng)充裝在潔凈、干燥的無(wú)縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可以根據(jù)用戶(hù)需要選用各種容積的氣瓶或其他容器。（一般情況下，使用氣瓶公稱(chēng)壓力為15Mpa時(shí)煤氣檢測(cè)儀，充裝系數(shù)＜1.37ka/L。﹚

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